中国科学院半导体研究所高精度贴片打线耦合系统采购项目更正公告

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：OITC-G250570563

原公告的采购项目名称：中国科学院半导体研究所高精度贴片打线耦合系统采购项目

首次公告日期：2025年12月02日

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：

招标文件“第八部分采购需求”中“包号3（自动耦合设备）（一）技术要求”作如下更正：

（1）3.1.5耦合圆心共点结构 更正为：3.1.5 X*Y*Z行程：25*25*25mm；

（2）#3.1.6 XYZ线性轴每轴行程不小于±12.5 mm，双向重复性≤ 0.14 μm，最小步距≤ 0.01 μm，最大速度25 mm/s，移动角偏摆≤ 100 urad 更正为：3.1.6对准精度:±50nm，双向重复精度：±50nm

（3）3.1.9角度电控微调台，组成输入端、输出端的θX、θY、θZ三轴耦合，输入端、输出端的旋转中心各为一点, θX、θY角度调节范围为不小于± 6°，θX、最小步距≤ 0.003°θZ角度调节范围为不小于270°，最小步距≤ 0.003° 更正为：3.1.9θX角度移动量:±6º，角度精度: θX≤0.002º

更正日期：2025年12月03日

三、其他补充事宜

无

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：中国科学院半导体研究所

地址：北京市海淀区清华东路甲35号

联系方式：010-82304085

2.采购代理机构信息

名 称：东方国际招标有限责任公司

地　址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层

联系方式：窦志超、曹山010-68290529

3.项目联系方式

项目联系人：窦志超、曹山

电　话：　　010-68290529