技术要求
*、透射电子显微镜
一、技术参数
*透射电镜主机
*.*电子枪类型：超稳定、高亮度肖特基场发射电子枪。
*.*加速电压：≥*** kV。
★*.*电子枪亮度：≥*.*×***A/cm*/sr @ ***kV。
★*.*束流/束斑尺寸：* nm束斑时电流 ≥ *.* nA，束斑漂移：≤ *.* nm/min。
*透镜系统
★*.*物镜类型：恒功率透镜，用于消除在不同模式切换以及放大倍数调整时产生的热效应，保证成像与分析的超高稳定性。
▲*.*物镜极靴间距：≥ * mm，保证单倾样品杆，三维重构样品杆的最大转动角度。
*.*相机长度范围：不小于 **mm-****mm。
*样品台
*.*五轴中心高精度自动样品台，观察点位置可以标记存储并返回。
★*.*最大倾斜角度：≥ ± **°(α) 。
★*.*样品移动范围：X,Y ≥ * mm；Z ≥ *.** mm。
★*.*使用标准样品杆时，样品漂移速率：≤ *.* nm/min。
*真空系统
*.*需要完全无油真空系统，且更换样品时无需关高压。
*.*真空度：电子枪真空度： ≤*.*×**-*Pa；冷阱制冷时，镜筒真空度： ≤*.*×**-*Pa。
*成像系统
*.*点分辨率：≤ *.** nm；信息分辨率：≤ *.*nm；放大倍数范围：TEM≥**-***,***倍；配置放大倍率校准软件；配备实时帧漂移校正成像功能，降低样品漂移的影响。
★*.*底插CMOS相机：分辨率 ≥ ****×****像素，像素物理尺寸大小 ≥**.*×**.*μm*；有效感光面积：≥**** mm*；
*电镜控制系统
*.*电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用。可设置任意多个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。
▲*.*配备自动合轴软件，可以自动进行日常的合轴调试，查找光束、对中光束、聚焦光束、对中C*孔径、对齐轴中心点和聚焦图像。
▲*.*全自动光阑系统，可以在软件中切换和自动化对中一级、二级聚光镜光阑，及物镜光阑，具有位置记忆功能。
*.*具有自动拍照和自动拼图功能，自动拍照和自动拼图单次设定张数≥****张。
*.*包含透射电子显微镜三维重构数据采集软件，用于获取样品三维结构成像数据；数据管理平台用于电镜成像数据的存储、分类、检索与管理；自动化成像软件，实现电镜自动化成像控制与参数设置；自动校准工具，实现电镜光路、样品定位的自动校准，提升成像精度；透射电子显微镜分析软件，适配扫描电镜 / 透射电镜，提供样品表征与数据分析功能；
*冷冻拍摄功能
▲*.*具有自动伸缩的防冰污染设计，用于降低样品的冰污染或另提供至少*套冷冻样品杆含冷冻样品杆存储工作站，两种方案均可。
▲*.*主机机身具有大容量液氮杜瓦瓶，灌注满之后对防冰污染部件的制冷时间≥**小时。
*.*镜筒内冷冻样品杆温度≤ -***℃。
*.*高真空TEM样品杆存储站 ：极限真空度≤ *×**-*Pa，可存储TEM样品杆数量≥*根。
▲*.* 配置冷冻投入仪，使用液态乙烷对载网上的样品进行玻璃化冷冻固定，样品准备腔室可设定和保持***%的相对湿度，滤纸双面吸附载网。操作方式为触摸屏控制或鼠标配合脚踏板控制。
二、样品预筛查系统
*主机：提供主机控制器，***KV 高压系统，真空系统，压缩机、冷却循环水系统。
*分辨率和放大倍数：线分辨率：≤ *.** nm；点分辨率: ≤ *.** nm；放大倍数：**-***,*** 倍或范围更大。
*电子枪类型：LaB*灯丝；加速电压：** kV-*** kV，升压和加速电压全程范围内切换仅
需通过软件控制快速完成；束斑漂移：≤ * nm/min。
*真空系统
★*.*常温下真空度：电子枪真空度< *x**-*Pa；样品区真空度< *x**-*Pa。
★*.*样品筛选时可以仅开启离子泵同时关闭分子泵和隔膜泵，避免分子泵的震动影响高分辨率图像的拍摄。
*样品台
*.*五轴优中心高精度自动样品台，观察点位置可以标记存储并返回。
★*.*样品杆最大α倾斜角度：≥ ±**°。
★*.*样品移动范围：X,Y ≥ * mm；Z ≥ *.** mm 。
*数字化照相系统
*.*配置一体化超快速高分辨底部安装CMOS相机，可连续采集数据。
★*.*高分辨CMOS相机像素≥ *,***×*,***像素，像素物理大小≥**.*um×**.*um。
三、电镜环境精密控制系统
*交流磁场强度：改造后，交流/直流磁场在三个高度（*.**米、*.*米和*米）的个正交方向均小于**nT p-p。要求配置主动消磁器。
*振动水平：参考地面振动水平向小于VC-F(*.**um/s)，垂向小于VC-E(*.**μm/s)。要求配置减震器。
*设备间改造后，拟放置电镜镜筒区域，温度要求：**～**℃之间恒定；且温度变化率±*.*℃/**h；湿度要求：小于**%RH；镜筒处风速小于 *m/min。
*噪音水平：改造后，拟放置电镜镜筒区域，*-****Hz频段噪声的三分之一频点上均小于**dBC。
★四、配置清单
*电镜主机*套
*电镜控制计算机*套
*数据存储工作站*套
* 随机电镜专用工具*套
*电镜预安装工具包*套
* 配合电镜使用的*h不间断电源UPS二套
* Tomography样品杆，冷冻样品杆一套
*主动消磁器*套；主动减震台*套；辉光放电仪*台；备用场发射灯丝*根；备用LaB*灯丝*根
*、高分辨扫描电子显微镜
一、技术参数
★*场发射热场电子枪维护可以自动烘烤、自动启动；二次电子分辨率：** kV时≤*.*nm，*kV时≤*.*nm。
* 发射电压：***V 至 **kV，着*电压：**V至** kV，具有样品台减速模式。
★*最大电子束探针电流：≥*** nA，连续可调。
▲*电子枪镜筒内至少同时有*个高分辨率电子探测器，包括二次电子探测器，背散射电子探测器，高角度电子探测器。
*镜筒外样品仓内包含二次电子检测器，红外CCD探测器。
*图像显示：****×****像素或更高；自动拼图和自动多区域拍摄：预先对多个样品的多个区域进行拍摄参数设定之后，扫描电镜可自动拍摄设定区域的图片数量≥***张。
▲*可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿。
*三级真空系统，包括*台涡旋泵、*台分子泵和*台离子泵。高真空模式等于或优于*×**-*mBar。
★*五轴马达驱动样品台，移动范围需同时满足：X ≥ ***mm，Y ≥ ***mm，Z≥**mm，T≥-*°～+**°，R = ***°连续旋转。
二、其他附件参数
*能谱仪
*.*探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积≥**mm*；高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能。元素分析范围：B*～Cf**。
★*.*具备元素谱图Live功能，移动样品或改变放大倍率时，元素谱图实时刷新显示，无需在电镜和能谱软件间切换。
★*.*电子图像分辨率≥*********像素；元素面分布图分辨率≥*********像素；可从面分布图上进行点、线谱图重建。
*冷冻传输系统
▲*.*冷冻传输制备系统主要由样品急速冷冻预处理装置、扫描电镜直接耦合式高真空冷冻制备腔体、配套断裂、升华及离子溅射镀膜装置、扫描电镜液氮冷台及配套冷肼装置、真空转移装置及配套过冷氮气热交换装置构成。能够完成一体化式样品急速冷冻、真空转移、断裂、升华、冷冻镀膜及扫描电镜原位冷冻观察和分析操作。
▲*.*高真空冷冻制备腔体，高真空冷冻制备腔体直接耦合式连接在扫描电镜样品仓端口。
*.*样品断裂、升华、冷冻镀膜功能模块，可设置及贮存时间-温度的升华参数曲线，全自动升华操作，溅射镀膜头为低电压冷溅射工作方式，标配Pt靶，全自动溅射镀膜，冷冻制备腔室配有CCD成像系统。
三、电镜环境精密控制系统
*交流磁场强度：改造后，交流/直流磁场在*.*米的三个正交方向均小于**nT p-p，要求配置主动消磁器。
*振动水平：参考地面振动水平向小于VC-F(*.**um/s)，垂向小于VC-E(*.**μm/s)，要求配置减震器。
*设备间改造后，拟放置电镜镜筒区域，温度要求：**～**℃之间；湿度要求：小于**%RH。
*噪音水平：改造后，拟放置电镜镜筒区域，*-****Hz频段噪声的三分之一频点上均小于**dBC。
* *组*KVA持续供电≥*h UPS
★四、配置清单：
*场发射扫描电子显微镜主机；
*无油真空系统；
*电子探测器；样品仓内红外CCD探测器；STEM探测器
*五轴马达驱动样品台；
*场发射扫描电镜操作控制软件；
*配合电镜使用的*h不间断电源UPS二套
*主动消磁器一套，主动减震台一套，离子溅射仪一台，备用场发射灯丝一根
*冷冻传输系统一套
商务要求
★* 交货/交付时间：采购人书面通知中标人后*个月内交付（包括免税办理时间、安装调试时间）。
★* 交货/交付地点：***校本部（辽宁省沈阳市沈河区文化路***号），采购人指定的地点（指定建筑、楼层、房间）。
货物到货时，如果所到货物的明细（如：品牌、型号等）与投标文件或本项目采购合同约定内容不一致，采购人有权拒绝接货。
★* 付款方式及条件：
*.合同签订后*个工作日内，中标人向采购人提供**%合同金额的预付款保函，保函有效期不少于**个月，采购人向中标人支付**%合同金额货款，验收合格后支付剩余*%合同金额货款。
*.中标金额包含了本项目可能涉及的一切费用，包括货物费用、外贸代理费、包装费、运输费、搬运费、安装调试费及所需的一切材料费、人员费用、免费保修期内的维护费用、税费及合同履行过程中不可预见费用等，采购人不再支付任何其他费用。
★* 验收标准：按照《关于印发辽宁省政府采购履约验收管理办法的通知》（辽财采[****]***号）规定执行。
组织验收主体：本项目的履约验收工作由采购人依法组织实施。
验收程序：按照《关于印发辽宁省政府采购履约验收管理办法的通知》（辽财采[****]***号）规定执行。
验收报告：按照《关于印发辽宁省政府采购履约验收管理办法的通知》（辽财采[****]***号）规定执行。
在采购方出具验收报告前，采购方有权使用已安装好的设备。若采购方验收发现不合格产品，中标方需免费更换为合格产品；待更换后的产品验收合格后，再统一出具验收报告。
★* 履约保证金：
履约保证金金额：合同金额的**%
履约保证金递交时间：中标通知书发出后*天内，签订合同前一次性缴纳
履约保证金递交方式：保函 支票 电汇
账户信息：
开 户 名：***
开 户 行：建设银行沈阳通汇支行
账 号：************
履约保证金退还时间及规定：项目履约完成且验收合格后返还，不计利息。
★* 质量保证期：
透射电子显微镜：*年
高分辨扫描电子显微镜：*年
设备验收合格后开始计算质保期，技术参数中有特殊要求的按要求执行。
在质保期内属货物质量问题所发生的一切费用由中标人负担。保修期内上门免费服务；保修期外，终身维修。
★* 如采购人要求延期交货，中标单位需完全响应，中标价格不予调整。
★* 热线支持：*×**小时
需提供联系人及联系电话
现场支持：接到报修电话后（*）小时内响应；（*）个工作日内到达
★* 售后服务网络：提供网络在线咨询服务。
★** 维修技术人员及设备方面的保证措施及收费标准的要求：
免费保修期内由货物制造厂家（或货物制造厂家授权的）维修工程师现场免费维修服务，并提供每年至少*次的上门维护保养工作。
免费保修期后，中标人须按照采购人要求继续提供维修服务。免费保修期后的收费标准：原厂备品配件按照出厂价给予*折优惠，除备品配件费外免收其他一切费用。
★** 备品备件供应及优惠价格要求：免费保修期内发生故障无法现场修复时，中标人须无偿向采购人提供备品使用。
★** 培训人员现场培训（操作、维护等）：培训前中标人提供完整的培训计划，由仪器制造厂家技术人员对采购人进行免费培训，不限人数。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等，直至采购人掌握为准。提供详细培训记录。
★** 系统扩展、升级服务要求：
免费保修期内，提供对本货物的相关软件予以免费更换、维护或升级服务。
免费保修期外，提供对本货物的相关软件终身免费维护、升级服务。
★** 涉及电脑操作系统及办公软件的，要求提供正版操作系统和正版办公系统，保证购买到具有合法授权的计算机正版软件并获得服务商完善的售后服务。
★** 其他：
中标方在货物运输、搬运、安装、培训过程中要注意自身与他人的安全，由于中标方原因造成的一切责任和后果由中标人承担。
