*、工作条件
*.*工作条件：***-***V AC
*.*接地：通过腔体接地
*.*环境温度：**°C–**°C
*.*相对湿度：**%–**%RH（不结露）
*、设备用途
TOF-SIMS适用于金属、无机非金属及有机材料的表面及近表面区域进行微区、高灵敏度元素、同位素及有机成分检测，支持ppm级痕量元素的表面质谱分析。
*、技术规格
*.*一次离子源
★*.*.*类型：Cs表面电离离子枪
*.*.*束流能量：≤*kV
*.*.*束流电流：≥*nA（连续模式下）
▲*.*.*最大重复频率：**kHz
▲*.*.*脉冲宽度：**-***ns（FWHM）
*.*.*入射角：与样品台成**°
*.*.*工作距离：**mm（可调±*mm）
*.*.*最小束斑直径：***μm
*.*溅射离子源
★*.*.*类型：O？气体离子源
▲*.*.*束流能量：****–****eV
▲*.*.*束流密度：*-*mA/cm*
*.*.*最小束斑直径：***μm
*.*.*入射角：与样品台成**°
*.*.*工作距离：**–**mm
▲*.*.*最大束流：***nA
*.*.*配置专用离子枪控制器
*.*质量分析器
★*.*.*类型：反射式TOF-MS
▲*.*.*质量分辨率：≥****（FWHM，m/z>**的有机物）
*.*.*质量范围：>****amu
*.*.*灵敏度：ppm级
★*.*.*质量精度：±*milli-amu
★*.*.*SIMS电离模式：正离子与负离子
*.*.*离子透镜提取间隙（到样品台）：*mm
★*.*.*脉冲提取：对二次离子实现脉冲聚束提取
*.*电子中和枪
*.*.*电子能量：**-**eV
*.*.*电子电流（DC）：≤***nA（连续模式下）
★*.*.*绝缘体分析：支持
★*.*.*工作模式：脉冲工作，在飞行时间周期内电子中和枪与一次离子枪脉冲、二次提取脉冲交替工作
*.*真空系统
★*.*.*泵组：至少包括*个涡轮分子泵+*个干式涡旋泵
★*.*.*分析室极限真空：≤*×**-*Kpa
*.*.*品传输室抽气时间（大气到真空）：<*min
★*.*.*具备压力超高自动切断电压的安全联锁功能
*.*样品台
*.*.*类型：磁耦合样品导入，UHV兼容，手动XYZ调节器
*.*.*行程范围：X：±**mm，Y：±**mm，Z：*-*mm；X、Y调节围绕中心轴作弧线运动
*.*.*倾斜：无
*.*.*样品托：至少包括*位小样品托（≤**×**mm，厚≤*mm）及*个大样品托（≤**×**mm，厚≤*mm）
*.*光学观察系统
▲*.*.*视场：***μm？*mm
*.*.*法兰安装：CF观察窗
*.*.*至少包含变焦显微镜、二向色照明器、控制器、相机与彩色监视器
*.*控制系统
*.*.* 至少包括PC控制质谱仪、离子源及探测系统，支持自动SIMS极性切换，并可加载已存储的实验参数
*.*数据采集系统
★*.*.*时间数字转换器TDC
▲*.*.*.* *.**纳秒计时分辨率
*.*.*.*最大突发速率*GHz
*.*.*.*通过标准USB*.*及以上接口与控制器轻松连接
*.*.*二次离子质谱拓展功能的软件
*.*.*.* 应内置专用程序，实现TDC时间-质量自动转换，生成等间隔质量轴质谱图，保留原始计数
*.*.*.*支持标准格式导入/导出
*.*.*.*能够实现二次离子质谱硬件部分的计算机控制和状态显示，实现数据采集、处理、查看和导出
*.**数据库★*.**.*SIMS谱库：含>****种材料、>****组正负离子谱图，内置峰搜索与定量工具。
