一、功能要求：
★*.通过高频超声波振动实现辅助合金化和雾化制备球形粉体。
★*.等离子热源最高温度不低**** ℃。
★*.支持包括但不限于不锈钢、高熵合金、难熔金属、高温合金、钛合金、金属基复合材料等的雾化制粉。
★*.最小雾化制粉启动量不超过***g。
★*.粉体球形度最高可达**%。
★*.粉体粒度分布（D**）：**-**μm（以***L为列）。
★*.粉末氧增量不超过*** ppm（以TC*为例）。
二、技术要求：
★*.等离子热源电流：不低于*** A（**%负荷），不低于***A（***%负荷)。
*.电气要求：AC ***V±**%，**/**Hz，≤**A。
★*.采用模块化设计：包含控制柜、等离子雾化单元、气体再循环系统的*个独立单元，而非集成一体。支持局部模块化升级，易于拆装，方便粉末快速收集和雾化仓清洁。
▲*.控制柜：独立单元，用于超声波功率、阻抗、频率控制及其实时监测；可实现氧含量在线监控，可进行冷却水温度、腔室温度、气压以及真空度的控制。采用触屏方式控制，具有异常警报及必要的保护功能。
*.等离子雾化单元：独立单元，由雾化仓、真空和气体管理、送料器、等离子体炬、超声波换能器、真空操纵器及带气锁的粉末收集容器等构成。
*.雾化仓：配有过压和真空传感器。
★*.*.双层不锈钢真空主腔室实现冷却水的循环。
★*.*.主腔室具有不低于*个端口，可与多个附件集成和升级。
▲*.*.雾化仓底部安装有进行冷却水循环的双层不锈钢椎体结构，配有运输手柄和钩，便于将锥体快速组装到主腔室，真空密封ISO-KF **连接器用于连接带气锁粉末收集器和气体再循环系统。
★*.*.雾化仓主腔室正面安装挡板，配有冷却套。夹紧阀用于快速关闭阀并将其密封到主腔室。ISO-F DN***法兰用于将等离子体炬或附件与左右DN***腔室法兰互换连接。
▲*.*.雾化仓极限真空度：≤*×**-*mbar，雾化制粉工作时真空度：≤*×**-*mbar。雾化仓泄漏率：带过滤器/传感器≤*.*×**-*mbar×L/S，不带过滤器/传感器≤*.*×**-*mbar×L/S，带气体再循环系统≤*.*×**-*mbar×L/S。
*.*传感器岛：由保证设备稳定运行所需的测量控制器件组成，包括进气阀、电磁阀、氧传感器、皮拉尼真空传感器、过压传感器、安全阀和保护过滤器。通过真空快卸接头和柔性液压软管连接到真空泵和主腔室。通过放气电磁阀使主腔室压力恢复至大气压，以安全打开腔室。
▲*.*.电极储藏室直径≤**mm。
▲*.*.密封尺度≤*.*mm。
▲*.*.梯形冷却装置厚度满足**-**mm。
▲*.**.吸氧材料口直径规格：≥**mm。
▲*.**.过滤装置规格≤ ***×**mm。
▲*.**.石英玻璃视窗：可全景自由无缝切换观察视窗，提供实物照片。
▲*.**. 焊极顶部为平面和凹槽形式：直径≥**mm，高度≥**mm。并需提供实物照片作为验证。
▲*.等离子体炬：集成式控制手柄，可按需要安装在雾化仓主腔室的正面或顶部。
*.真空密封可旋转手动操作器，可深入到主腔室，可按需要安装在雾化仓主腔室的左侧或右侧。
▲*.真空密闭手动送料器，可按需要安装在雾化仓主腔室的顶部、左侧或右侧实现垂直或倾斜送料。
▲**.同一雾化仓支持使用不规则的颗粒、块、丝为原料进行雾化制粉。
▲**.同一雾化仓支持使用横截面不规则的棒状（如圆棒、方棒及三角棒等）原料进行雾化制粉。
▲**.支持包括但不限于钆、镱及铱等单质稀土材料的雾化制粉。
★**.配置**kHz超声波换能器，功率不低于*.*KW，不低于IP**防护安全级别。
★**.在同一雾化仓内，配置一套水冷铜坩埚，用于散料电弧熔炼成型，之后用于雾化制粉。
▲**.可在等离子雾化仓内，将雾化的剩余料头通过等离子焊接成一体，用作雾化制粉的棒状原材料。
★**.同一雾化仓内配置用于超声辅助合金化的超声波铜焊极。
**.设备软件：
**.*.可以从主菜单中选择不同的程序。
**.*.具有打开熔化/雾化程序中的阀门等控制功能。
▲**.*.可实时监测压力、真空度、气体温度、氧气、频率、超声
波功率和电弧电流等功能。
▲**.*.可实时调整超声波幅度和侧通道泵功率。
**.*.允许超声工作和扫描参数的图形显示。
**.*.可显示所有错误消息并自动清除。
★**.提供设备常用易损件备件：包括但不限于钛锆钼合金材质超声波焊极不少于**个；钨电极不少于*根；滤芯不少于*套。
▲**.气体再循环系统：高度不超过***cm的独立单元。允许在惰性气体气氛中以闭环流动进行雾化制粉，实现大幅度降低惰性气体的消耗。包括水冷不锈钢粉末收集旋风分离器、不锈钢主过滤室、用于纳米粒子收集的HEPA过滤器、主过滤器清洁和废物去除系统、中间冷却器、安全HEPA过滤器和侧通道泵。至少*个带气锁的粉末收集容器，容量不低于*** 毫升。
▲**.提供基于该设备制备的不少于**种材料球形粉末的**倍率和***倍率的SEM图。
▲**.该系统可加工的合金类型不少于**种。
▲**.未来可升级选项：P-P模块、聚焦等离子模块、感应模块等可升级选项。
★**.配置标准制冷量≥** KW、低于**分贝静音水冷机一台，流量≥*** L/min静音无油空压机一台，以及不低于IP*X级水浴式防爆吸尘器一台，**L氩气瓶（含有纯度≥**.***%氩气、减压阀与气路）一个，用于保证设备正常、安全运行。
**.提供设备技术资料和操作说明书各一份。
